凡測定中所用的一切儀器設(shè)備必須按規(guī)定進行鑒定、校正或標(biāo)定。測定之前，必須對系統(tǒng)、潔凈室、機房等處進行全面清掃；在清掃和系統(tǒng)調(diào)整后，必須連續(xù)運行一段時間然后進行檢漏等項目的測定。 （一）潔凈室測定的程序大致如下：1、風(fēng)機空吹2、室內(nèi)清掃3、調(diào)整風(fēng)量4、安中效過濾器5、安高效過濾器6、系統(tǒng)運行7、高效過濾…

氣態(tài)分子污染物(AMC)已經(jīng)成為影響半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素，主要表現(xiàn)為表面分子污染，這是由氣態(tài)分子和特定表面作用而形成非常薄的化學(xué)膜，化學(xué)膜通常改變產(chǎn)品表面的物理、電子、化學(xué)和光學(xué)特性而導(dǎo)致質(zhì)量缺陷，造成產(chǎn)品良品率下降。AMC種類復(fù)雜，根據(jù)SEMI發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)中將AMC分為四類:1.酸性分子污染物：如HF、SO2、CL2等…

在超凈半導(dǎo)體環(huán)境中，污染物的監(jiān)測至關(guān)重要，因為即使微小的污染物也可能對半導(dǎo)體生產(chǎn)過程造成嚴(yán)重影響。以下是一些高效監(jiān)測超凈半導(dǎo)體環(huán)境污染物的方法： 高精度傳感器技術(shù)：利用高精度傳感器技術(shù)可以實時監(jiān)測空氣中的各種污染物濃度，如微粒、氣體、揮發(fā)性有機化合物等。這些傳感器能夠提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，幫助及時發(fā)…

潔凈室氣流組織的主要任務(wù)，是供給足量的清潔空氣，稀釋并替換室內(nèi)所產(chǎn)生的污染物質(zhì)，使室內(nèi)潔凈度保持在允許范圍之內(nèi)。 潔凈室氣流組織設(shè)計應(yīng)遵循以下一般原則： 1）要求送入潔凈室的潔凈氣流擴散速度快、氣流分布均勻，盡快稀釋室內(nèi)含有污染源所散發(fā)的污染物質(zhì)的空氣，維持生產(chǎn)環(huán)境所要求的潔凈度。 2)使散發(fā)…

潔凈室的壓差就是潔凈室與周圍空間所必須維持的靜壓差。潔凈室與鄰室維持正的靜壓差（簡稱正壓）是較為常見的情況，實際工程中的工業(yè)潔凈室和一般生物潔凈室都是維持正壓。 但對于使用有毒、有害氣體或使用易燃易爆溶劑或有高粉塵操作的潔凈室，生產(chǎn)致敏性藥物、高活性藥物的生物潔凈室以及其他有特殊要求的潔凈室需要…

潔凈室新風(fēng)量對于補充排風(fēng)系統(tǒng)所需、保證室內(nèi)空氣質(zhì)量、?維護作業(yè)人員健康、?確保生產(chǎn)安全等方面具有不可替代的作用。 潔凈室新風(fēng)量計算 滿足衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng)量 滿足衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng)量分兩種情況： 1）對于室內(nèi)無明顯有害氣體發(fā)生的一般情況，根據(jù)GB50073-2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定，保證供給潔凈室內(nèi)的新…